事業案内
SEISHIN’S SERVICE
設計から制御まで。
半導体配管を一貫構築。
最先端半導体工場における特殊配管のプロフェッショナル。
超純水・廃液・薬品ラインの「配管設計・施工」から、
「装置の製作」、自動運転を司る「制御システム構築」までワンストップで対応。
確かな一貫体制で、工場の安全かつ安定した稼働に貢献します。
超純水供給システム配管設計・施工
半導体製造の全工程で不可欠な「超純水」を、極めて高い水質（清浄度）を維持したまま製造装置へ届けるための配管システムです。
配管内部からの微量な金属イオンや有機物の溶出、細菌の繁殖を徹底的に防ぐため、材料選定（PVDF等）からクリーンルーム内でのクリーンカット、融着・溶着、厳格な圧力テストまで、世界水準の施工管理体制で極めて精密に実施し、不純物の混入リスクを極限まで排除します。
廃液回収システム配管設計・施工
半導体製造プロセスから排出される、強酸、強アルカリ、有機溶剤、重金属などを含む多種多様な化学廃液を、安全かつ確実に回収処理設備まで搬送する配管システム。
廃液の化学的性質に応じた最適な耐食材料（PP、PVDF、フッ素樹脂など）の選定はもちろん、万が一の漏洩に備えた二重管構造の採用や、隙間への漏洩検知センサーの敷設など、環境と工場の安全を守る高度な安全設計・施工を行います。
薬品供給配管設計・施工
ウェーハの洗浄やエッチングに使用される、極めて危険で高濃度な化学薬品（フッ酸、硫酸等）をプロセス装置へ搬送する薬液配管工事です。
施工には、高度な技術が要求されるフッ素樹脂（PFA）のフレア加工や熱溶着、二重管構造の採用、耐食バルブの適切な選定が欠かせません。漏洩検知システムと連動させ、1本の継ぎ手からも一切のリーク（漏れ）を許さない完璧な気密性を実現します。
薬品供給設備の設計・製作
薬品配管をプロセス装置へ安全に分配・供給するための心臓部となる、バルブ・マニホールド・ボックス（VMB）やバルブ・マニホールド・パネル（VMP）などの薬品供給装置を、自社で設計から製作までワンストップで対応します。
耐薬品性に優れたPPやPVC製の筐体設計、自動不活性ガスパージ機能、自動消火装置などをコンパクトなユニットにパッケージし、厳しい安全基準に準拠した設備をお届けします。
薬品供給設備SCADA＆PLCの設計
薬品供給設備や配管ライン全体の圧力、流量、温度、漏洩の有無などをリアルタイムで一元監視・自動制御するための、PLCプログラム作成およびSCADAシステムのグラフィック設計を行います。
異常発生時に瞬時にバルブを緊急遮断するインターロック（安全制御）を緻密に構築。工場全体の集中管理システム（FMS）と連携し、24時間365日の安全かつ自律的な無人稼働をサポートします。
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